基于MBE在体AlN上生长的265nm UV-C LED的边发射

发布:2025年12月29日 23:13
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ArXiv

分析

本文展示了在265 nm波长发射的UV-C LED的制造和性能,该波长对于消毒和杀菌至关重要。在体AlN衬底上使用分子束外延(MBE)可以实现高质量的材料生长,从而实现高电流密度、开/关比和低微分导通电阻。类似于激光二极管的边发射设计是高效光提取的关键创新。本文还确定了n型接触电阻是改进的主要领域。

引用

实现了高达800 A/cm$^2$的高电流密度、5个数量级的开/关比,以及在最高电流密度下2.6 m$Ω\cdot$cm$^2$的低微分导通电阻。