用于偶氮聚合物微浮雕的全光刻技术

本文介绍了一种新的全光刻平台，用于使用偶氮聚合物创建微结构表面。关键创新在于利用计算机生成的全息图中的工程暗度来控制质量传输，并直接产生正的、突出的微浮雕。这种方法消除了对掩模或模具的需求，提供了一种无掩模、全数字且可扩展的微制造方法。能够控制全息图的空间和时间方面，从而实现复杂的微结构、可重构表面和可重新编程的模板。这项工作对光子学、生物界面和功能涂层具有重大意义。