光リソグラフィにおける欠陥データセット生成のためのAI活用

この研究は、半導体製造の重要なステップである光リソグラフィにおける欠陥検出のためのデータセット作成に関する革新的なアプローチを探求しています。物理的な制約と設計主導の方法論に焦点を当てていることから、欠陥識別のためのAIモデルのトレーニングにおいて、より正確で効率的なアプローチとなる可能性があります。

• •この方法論は物理的な制約を活用しており、現実世界の物理原理に基づいていることを示唆しています。
• •設計主導であり、実践的な応用と製造プロセスを重視していることを強調しています。
• •この研究の目的は、リソグラフィにおけるより良いAIモデルのトレーニングのために、欠陥データセットの生成を改善することです。