AgenticTCAD: 基于LLM的器件设计优化

本文解决了自动化TCAD仿真和器件优化的问题，这是现代半导体设计的关键方面。使用由特定领域语言模型驱动的多智能体框架是一种新颖的方法。创建开源TCAD数据集是一项有价值的贡献，可能使更广泛的研究社区受益。在2纳米NS-FET上的验证以及与人类专家表现的比较突出了所提出方法的实际影响和效率提升。

• •提出了AgenticTCAD，一个用于自动化TCAD代码生成和器件优化的多智能体框架。
• •利用在开源TCAD数据集上微调的特定领域语言模型。
• •与人类专家相比，在器件设计方面展示了显著的效率提升。
• •解决了TCAD仿真中开源资源匮乏的问题。