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MaskOpt:大規模マスク最適化データセット、集積回路製造におけるAIを推進

公開:2025年12月18日 05:53
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ArXiv

分析

この記事は、集積回路製造におけるAIアプリケーションを改善するために設計されたデータセット、MaskOptを紹介しています。焦点は、製造プロセスにおける重要なステップであるマスク最適化です。データセットの規模は、この分野における大きな進歩の可能性を示唆しています。

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