锗亚层提高超薄铜膜的耐腐蚀性

本文研究了超薄铜膜的腐蚀行为，这是电子产品和保护涂层应用中的一个关键课题。这项研究的重要性在于它对氧化过程的考察以及对现有理论的偏离模型的开发。关键发现是具有锗亚层的铜膜的耐腐蚀性增强，为电磁干扰保护设备提供了潜在的具有成本效益的替代金方案。这项研究提供了对材料退化的宝贵见解，并为设备设计和材料选择提供了实际意义。

• •超薄铜膜会随着时间的推移而腐蚀，遵循抛物线氧化定律。
• •锗亚层显著提高了铜膜的耐腐蚀性。
• •耐腐蚀性的提高归因于铜膜生长过程中锗的重新分布。
• •Cu/Ge/SiO2薄膜被建议作为EMI保护中金的更便宜的替代品。